氧化铝的熔点高，氧化硅熔点1702度，氧化铝2054度。氧化硅是一种无机化合物，化学式为SiO，常温常压下为黑棕色至黄土色无定形粉末，熔点1702°C，沸点1880°C，密度2.13g/㎝3，难溶于水，能溶于稀氢氟酸和硝酸的混酸中并放出四氟化硅，在空气中加热时生成白色的二氧化硅粉末。

一氧化硅能溶于氢氟酸和硝酸的混合酸，其中并放出四氟化硅。一般它可由二氧化硅在真空中1300℃高温下与纯硅作用后迅速冷却制得。